（术语）Svāhā，又作苏婆诃，娑婆诃，莎缚诃，萨婆诃，率缚诃，娑嚩贺，苏和诃，馺婆诃，馺皤诃，沙诃，娑诃，莎诃等。真言之结句也。仁王经仪轨下曰：娑缚贺，此云成就义，亦云吉祥义，亦云圆寂义，亦云息灾增益义，亦云无住义。今依无住义，即是无住涅槃。依此无住涅槃尽未来际，利乐有情，无尽期故。大日经疏四曰：末句云莎诃，是惊觉义。以一切如来行菩萨道时同见如是义故，必定狮子吼发诚实言。我要当以此阿字门遍净无尽众生界，若我此誓不虚者，共有一切众生诵我诚言，不亏法则，则当如其所愿，皆充满之。我今以随如来三昧耶教说是真言，唯愿不违本誓，故令我道场具足严净，故言莎诃也。又曰： 莎诃者，如僧羯磨竟，加忍更可印成句。若我所发诚言必定无谬，唯愿诸佛不越三昧耶故令所作圆满也。同九曰：莎诃是惊觉诸佛令作证明，亦忆念持义。 同十三曰：娑诃是警发义也，以此真言警发诸佛，说此明时诸佛即惊发而起，加持行人也。又曰：娑嚩诃，娑嚩自也，诃是本也更问。演密钞六曰：梵语娑嚩（合二）诃，此云本誓，谓诸佛如来同一大誓故。同七曰：莎缚诃，是摄取义。秘藏记本曰：娑婆诃，究竟义，圆满义，惊觉义，成就义，散去义。 此五义如其次第表法界体性智等之五智也。究竟之义者，法界体性智也，是为方便究竟之极果故。圆满之义者，大圆镜智也，圆镜圆满其义同故。惊觉之义者，平等性智也，平等性智主修行之德，依三密之修行，惊觉已成之如来，又惊觉自己本有之菩提心故。成就义者，妙观察智也，妙观察智主成菩提之德故。散去义者，成所作智也，成所作智主入涅槃之德，若入涅槃则佛散失故。见秘藏记钞五。